射频电源（固态RFG-1500型）
产品简介：
RFG-1500型固态射频电源是RFG系列射频电源之一，可以产生固定频率、具有一定功率的射频正弦波。
产品主要特征：
采用MOSFET功率放大器,开机无需预热
精密功率控制,最低可实现1W的稳定功率输出
面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
漏电保护,过载保护,过热保护,驻波保护
具有外部时钟同步(CEX)功能
射频末级效率85%,整机效率70%以上
产品使用场合：
半导体工艺、科学实验中的等离子体发生；感应加热；医疗等等。
电气参数:
电气参数 | 指标 |
输出功率 | 1W-1500W连续可调，正反向功率真彩色LCD智能显示 |
射频末级效率 | ≥85％（1500W输出时） |
功率稳定度 | ≤±0.5％(额定功率输出时) |
频率稳定度 | ±10ppm |
承受最大反射功率 | 300W |
最大输出功率裕度 | 20% |
频率信号 | 13.56MHz标准正弦波 |
整机效率 | ≥70% |
控制信号与后面板电气连接
描述 | 说明 |
模拟口 | 15针D型（阴性）（选配） |
串口 | RS232/RS485/USB通讯协议（选配） |
外部时钟同步（CEX） | BNC(阴性) |
射频输出口 | 标准同轴接头输出（M/N型，阴性） |
交流供电口 | AC220V供电（50/60Hz） |
冷却方式 | 强制风冷（或水冷）（可定制） |
机械尺寸
描述 | 说明 |
体积 | 178mm(H)X483mm(W)X500mm(D) |
重量 | 19.9kg |
前面板指示 | 4.3寸TFT真彩数字屏（16：9），分辩率480X272，LED背光，28键键盘，纯铝旋钮 |
安装 | 前面板高为标准4U，宽为19英寸 |
前面板颜色 | 象牙白（可根据客户需求进行定制） |
使用环境
