SS-II系列直流磁控溅射电源技术规格
SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及部分反应膜层环境使用。
电源功率范围
10-120KW
输入电源
AC380V三相四线制 50-60HZ±10％
输出方式
直流
输出电压
空载800V
灭弧时间
≤20uS
输出电流稳定率
0.5％
冷却方式
10-60KW风冷 60-120KW水冷
使用环境
环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式
模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
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